| 设备型号 | EMP-6060 | |
| 加工幅面 | 600×600(mm) | |
| 视觉幅面 | 600*490.5（mm） | |
| 视觉定位精度 | ≤0.05mm | |
| 最大加速度 | 1.5G | |
| X轴 | 快速移动速度 | 60m/min |
| 有效行程 | 600mm | |
| 定位精度 | ±0.02mm | |
| 重复精度 | ±0.005mm | |
| Y轴 | 快速移动速度 | 60m/min |
| 有效行程 | 600mm | |
| 定位精度 | ±0.02mm | |
| 重复精度 | ±0.005mm | |
| Z轴 | 行程 | 100mm |
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